潔凈室氣密性檢測方法
G.1 原 理
G.1.1 保持室內(nèi)為正壓或負壓均能滿足檢驗要求,但條件允許
時,負壓潔凈室宜用正壓檢驗,正壓潔凈室宜用負壓檢驗。
G.1.2 可按以下方法進行檢測:
1 壓力衰減法
使室內(nèi)達到某一壓力(正壓或負壓),關閉加壓或抽負壓系 統(tǒng),觀察壓力隨時間衰減的情況,記錄下壓力衰減到起始壓力的
一半時所用的時間,即為測量室內(nèi)正壓或負壓的半衰期。
2 恒壓法
使室內(nèi)達到某一正壓,同時向室內(nèi)補氣,使室壓達到要求的 穩(wěn)定值而不下降時的補氣量即為漏泄量。使室內(nèi)達到某一負壓,
使室壓維持要求的穩(wěn)定值而不下降時的抽氣量即為漏泄量。
G.2 壓力衰減法
G.2.1 測試系統(tǒng)如圖G.2.1 所示。
G.2.2 可按以下步驟進行檢測
1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定,記 錄壓力衰減測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的
最小示值不宜大于0.1℃)。
2 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等,關閉回風 管(或排風管)上的氣密閥門,不得在風口上加其他密封措施,
并維持各種孔洞縫隙的密封現(xiàn)狀。
3 開啟送風,使室內(nèi)壓力上升至已商定的測試壓力(壓力 計量程至少為測試壓力的1.5倍,最小示值不宜大于10Pa), 壓
力穩(wěn)定后,停止送風,關閉送風閥門。
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1-潔凈室;2—送風機;3—調節(jié)閥;4—密閉閥;5--微壓計;6一排風機
4 或反之關閉送風管上的閥門,如果送風管上無閥或閥不 嚴,應在送風口上用塑料膜加盲板的方法封住風口,開啟排風, 使室內(nèi)壓力下降至已商定的測試壓力,壓力穩(wěn)定后,停止排風,
關閉排風氣密閥門。
5 從停止送(排)風起,記錄壓力隨時間衰減的數(shù)據(jù),每 1min 記錄1次壓差和溫度,連續(xù)記錄至室內(nèi)壓力下降至初始壓
力的一半時止。
6 測試結束后慢慢打開風閥,使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。
8 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.2.3 檢測報告應包括以下內(nèi)容,
1 檢測條件,包括室內(nèi)溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規(guī)格型號及精度;所測
潔凈室壓力、溫度的動態(tài)變化;檢測持續(xù)的時間。
3 檢測結果包括所測潔凈室壓力下降至初始壓力的1/ 2時的時間內(nèi)壓力衰減率;所測潔凈室圍護結構嚴密性的
評價。
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G.3 恒 壓 法
G.3.1 測試系統(tǒng)如圖 G.3.1 所示。
圖 G.3.1 恒壓法測試系統(tǒng)
1—潔凈室;2—送風機;3—調節(jié)閥;4—密閉閥;5 微壓計;
6—排風機;7—氣泵;8—流量計;9—真空泵
注:正壓檢驗時用氣泵,負壓檢驗時用真空泵
G.3.2 可按以下步驟進行檢測:
1 將所測潔凈室的溫度控制在設計范圍內(nèi)并保持穩(wěn)定,記 錄測試過程中室內(nèi)溫度的變化(溫度計或溫度傳感器的最小示值
不宜大于0.1℃)。
2 關閉所測潔凈室圍護結構上的門、傳遞窗等,關閉回風 管(或排風管)上的閥門,如果風管上無閥或閥不嚴,應在回風
口(或排風口)上用塑料膜加盲板的方法封住風口。
3 開啟送風,使室內(nèi)壓力上升至500Pa, 停止送風,關閉
送風閥門。
通過圍護結構上的孔洞和導管,由送風機或空氣壓縮機向室 內(nèi)補氣,通過調節(jié)安裝在導管上的調節(jié)閥調整補氣流量,以維持 潔凈室內(nèi)的壓力穩(wěn)定不下降,每隔1min 記錄一次補氣管路上浮
子流量計讀數(shù),此數(shù)即為漏氣量,測試持續(xù)的時間宜不超過
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5min, 取平均值。
4 反之關閉送風閥,開啟排風,當室內(nèi)壓力下降至一500Pa 時關閉排風,開啟真空泵保持室內(nèi)壓力,記錄真空泵抽氣量,此
數(shù)即漏泄量。
5 測試結束后慢慢打開風閥,使房間壓力恢復到正常狀態(tài)。
6 如果需要進行重復測試,20min 后進行。
7 當不用風機時也可用空氣壓縮機或真空泵。
G.3.3 檢測報告應包括以下內(nèi)容:
1 檢測條件,包括室內(nèi)溫度等。
2 檢測方法包括檢測所用儀器設備規(guī)格型號及精度;室內(nèi)
溫度的動態(tài)變化;漏泄量的動態(tài)變化。
3 檢測結果包括所測潔凈室5min 內(nèi)的每小時漏泄率;所
測潔凈室圍護結構嚴密性的評價。
G.4 安 全 要 求
G.4.1 應制定防范預案。
G.4.2 必須對被檢驗室內(nèi)的溫度進行監(jiān)測。
G.4.3 恒壓法測試持續(xù)時間不宜太長。